这种三轴气浮台做为地面全物理仿实正在验的焦点设备，取国内同类产物比拟，具有精度高、体积小、承载机能好、加工周期短等长处。

　　日前，中科院光学细密机械取物理研究所研制成功了高精度小型三轴气浮台！